経済総合 – とれまがニュース

ギガフォトン、EUV光源において43Wの発光を達成

• ツイート
• 
• 

2014年02月17日

このマイルストーン達成により、業界待望の量産レベルEUV露光用LPP光源の実現が前進

栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、EUV露光用プロトタイプLPP光源（LPP光源）2号機にて、100 KHz、43 Wの出力を実現したことを本日発表しました。また、発光効率（Conversion Efficiency: CE）としては2.4％を達成しました。これはLPP光源の性能が生産レベルまで達成したことを示す重要なマイルストーンです。ギガフォトンは2014年末までに、プロトタイプLPP光源を用いて150 Wの出力を、2015年までに、EUV量産(HVM)システムで250 Wの出力を達成することを目標にしています。

ギガフォトンは、これまで、独自技術によるLLP光源の開発を追求してきました。今回の結果はプロトタイプLPP光源を用いて確認されたものです。このプロトタイプLPP光源は、すず（Sn）ドロップレットを、固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスで照射することでEUVを発光させ、また、高出力な超電導磁石とH2ガスを用いたSnエッチングを組み合わせることにより、照射によるSnデブリの発生を抑制します。

ギガフォトンは2002年から、高出力と安定性・経済性を追求した独自技術によるLPP光源の開発に取り組んでおり、20 μm以下の微小ドロップレットのオンデマンド供給、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去などユニークな方式を提案してきました。ギガフォトンでは今回の43 W達成を、ギガフォトンの高い技術力を証明すると共に、製品出荷へ向けての大きな一歩と位置づけています。

ギガフォトンの提案するLPP光源技術は、微小ドロップレットを必要な時にのみ供給するオンデマンド供給であるため、ドロップレットジェネレーターの寿命を延長させ、コストとダウンタイムの削減を可能にします。又、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの最適な組み合わせにより、高い CEを実現することで、高効率で大出力のEUV出力を可能とします。更に、コレクターミラーの寿命を最大化するため、超電導磁石による磁場を用い、ドロップレットから発生するSnデブリをSnキャッチャーへガイドすることで除去し、更なるコストとダウンタイムの削減を実現します。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこうコメントしています。「今回の達成により、当社が従来から推進してきた、“高効率で高出力”かつ“低ランニングコストで安定に稼働する”LPP光源実現への、自信が持てる大きな成果が得られ、大変嬉しく思います。ギガフォトンは、お客様の半導体量産体制をサポートするため、業界が熱望するEUVフォトリソグラフィの量産化の実現に向けLPP光源技術開発を加速します。」

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体チップメーカーによって使用されるユーザーフレンドリで、高性能なDUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術であるLPP EUVソリューションは、費用効果と生産性に優れたリソグラフィ光源の大量生産において先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までの事業のすべての局面においてエンドユーザーのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界Ｎｏ．1企業になるよう努力しています。詳細は、www.gigaphoton.comをご覧ください。

連絡先

報道関係者向けお問い合わせ先：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
寺嶋 克知
TEL: 0285-28-8410
Eメール: katsutomo_terashima@gigaphoton.com
または
営業部
久永 直人
TEL: 0285-28-8415
Eメール: naoto_hisanaga@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ