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グリーンイノベーションで注目を集めるギガフォトンのArF液浸レーザー

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2014年06月10日

ArF液浸レーザーで低環境負荷・低消費電力を実現するギガフォトンの最先端環境技術が「グリーンイノベーション」として大手半導体メーカーで高く評価されています

栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com）は、本日同社の主要製品である高出力ArF液浸レーザー「GTシリーズ」に導入されている最先端環境技術「グリーンイノベーション」が、複数の大手半導体メーカーから高く評価されていることを発表しました。

ギガフォトンでは、2000年の創立以来、KrF及びArFレーザーの高出力・高性能・高安定性を高いレベルで達成するとともに、環境配慮型工場「グリーンファブ」の実現のため省電力化などに注力してきました。この度その努力が認められ、複数の大手半導体メーカーから、GTシリーズが低消費電力と低消費ガスで稼働するレーザーとして高い評価を受けることになりました。

近年、環境への配慮の観点から地球規模での資源節約が切望される中、ギガフォトンでは創立以来14年間、レーザー装置に環境技術を導入してきました。そして、2003年にはEcoPhoton™プログラム（注を策定し、製品の更なる効率向上、ユーティリティ（電力・ガス・水等）使用量の低減に取り組んできました。

ギガフォトンのGT シリーズレーザーは2003年の発売開始以来、このEcoPhoton™プログラムに沿って、グリーンテクノロジーを進化させてきました。GTシリーズレーザーが採用しているインジェクションロック技術は、高出力・高性能・高安定性を高効率で達成でき、それ以前の技術（シングルチャンバ技術）と比べた場合、50%もの大幅な消費電力の削減を実現しました。ギガフォトンでは、今後もこのプログラムを進化させることで、2019年までに消費電力を現在より50%削減、消費ガスを75%削減することを目指しています。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏は「ギガフォトンが目指す量産装置におけるグリーンイノベーションを高く評価して頂き、非常に嬉しく思います」と述べました。「私達は今後もEcoPhoton™プログラムを継続して実現し、半導体産業に貢献していく所存です」。

（注EcoPhoton™プログラムについてEcoPhoton™プログラムは、2003年以来、ギガフォトンがグリーンイノベーションを実現するために策定したロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト（Cost of Ownership = CoO）を、消耗部品により発生するコスト（Cost of Consumable = CoC）、ダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）、環境負荷のコスト（Cost of Envrioment = CoE)の3種類に分類し、このコスト要因を詳細に分析。新技術の投入により継続的なコスト低減を目指しています。

ギガフォトンについて2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体チップメーカーによって使用されるユーザーフレンドリーな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンは、費用効果と生産性に優れたリソグラフィ光源の大量生産において先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までの事業のすべての局面においてエンドユーザのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

連絡先

報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
寺嶋 克知
TEL: +81-(0)285-37-6931
Eメール: katsutomo_terashima@gigaphoton.com
または
営業部
久永 直人
TEL: +81-(0)285-28-8415
Eメール: naoto_hisanaga@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ