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サイバーオプティクスがSPIE Advanced Lithography展示会で新たなReticleSense浮遊微粒子センサー（APSR）のデモを実施へ

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2014年02月21日

リソグラフィー技術者は新システムにより、システムの設定と長期の歩留りを向上可能

ミネアポリス

（ビジネスワイヤ） -- 電子機器の組み立て装置と半導体処理装置向けにインテリジェントな検査・検知ソリューションを提供する世界的リーダー企業のサイバーオプティクス・コーポレーション（NASDAQ:CYBE）は、2月23～27日にカリフォルニア州サンノゼで開催されるSPIE Advanced Lithography会議・展示会のブース305で、ReticleSense™浮遊微粒子センサー（APSR）のデモを実施します。リソグラフィー技術者はAPSRにより、レチクルを導入している半導体処理装置において、浮遊微粒子のモニタリングを実施して、システムの設定と長期の歩留りを向上させることができます。

サイバーオプティクス社長兼最高経営責任者（CEO）のSubodh Kulkarniは、次のように述べています。｢サイバーオプティクスは当社が現在提供しているWaferSense®ウエハー型浮遊微粒子センサー（APS）技術を活用して、レチクル型のフォームファクターでAPSを開発しました。この技術は、半導体業界の世界的リーダーから得た知見とリソグラフィープロセスを結び付ることで開発したものです。サイバーオプティクスは今後も、技術を先駆的に開発してきた実りある歴史を発展させていきますが、そのために半導体ファブの生産性を向上させ、コストを削減して先行投資を最小化するための革新的で効果的なソリューションを開発していきます。｣

リソグラフィーの技術者はこの専有技術を頼りにすることができます。この技術は、2011年に発売した実証済みのWaferSenseウエハー型浮遊微粒子センサー（APS）装置を発展させたもので、3大メーカーを含め、コンタミのない環境が必須の世界の半導体ファブで使用されています。

サイバーオプティクスの販売・マーケティング担当ディレクターを務めるマーク・ハンナフォードは、次のように述べています。｢従来の方法とは異なり、ReticleSense APSRのリアルタイム無線機能により、ユーザーはレチクル環境において粒子の発生位置を迅速に突き止めることができます。さらに、APSRはレチクルを設けるところならどこでも設置でき、ツールを開くことなく、レチクルをどのように搬送しても搬送可能です。ツールの稼働時間を延ばし、メンテナンスを改善するとともに、歩留りを向上させることすべてが、測定装置のReticleSenseとWaferSenseを使用することで可能なメリットです。｣

サイバーオプティクスはReticleSense APSRに加え、すべてのWaferSense生産ラインも展示します。展示製品は、2004年から半導体業界が採用してきた当社のWaferSenseウエハー型フォームファクター製品で、これらは水準測定、ギャップ測定、ロボット教示、振動測定、浮遊微粒子検知のソリューションを提供するものです。WaferSense製品は200mm、300mm、450mmのウエハーサイズで提供しています。

サイバーオプティクスについて

F1984年創立のサイバーオプティクス・コーポレーションはセンサー・検査システムを提供する一流企業として、電子機器の組み立て装置と半導体資本設備の世界市場向けに、工程歩留まりとスループットを改善するソリューションを提供しています。当社は自社の位置付けを変更し、電子機器と一般計測の市場向けに高精度の専有的3Dセンサーを開発・製造する企業と捉えています。ミネソタ州ミネアポリスに本社を置き、北米・アジア・欧州の施設を活用して世界規模で事業を展開しています。

当社が期待する性能に関する記述は将来見通しに関するものであり、従ってリスクと不確実性を伴います。これらのリスクおよび不確実性には、世界のSMT／半導体資本設備産業における市況、当社の製品売上高、特に当社のSMTシステムをめぐる価格競争および価格圧力の激化、当社OEM顧客からの発注レベル、顧客からの発注に対処するために必要な部品の可用性、世界的出来事が当社の売上高（その大部分は海外顧客によるもの）に及ぼす影響、競合他社による製品投入とその価格設定、2013年度末までに当社が達成する収益および損失の程度、2014年度に当社が達成する収益・利益ないし損失の程度、OEMおよびエンドユーザーについて新たに期待される機会の成功、米証券取引委員会に当社が提出した書類で記述された他の要因が含まれますが、これらに限定されません。

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記事提供：ビジネスワイヤ