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エドワーズ、最新一体型4,000L/sクラス大容量ターボ分子ポンプ STP-iXA4506を発売

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2014年02月13日

最先端技術により排気能力性能と副生成物を抑制のための高温TMS*性能を向上

英クローリー

高度な真空製品と排ガス処理システムの大手メーカーであり、関連付加価値サービスの世界的プロバイダーであるエドワーズ（英クローリー）は、大容量一体型STP-iXA4506ターボ分子ポンプ（TMP）を発売しました。近年コストが重視される半導体、フラットパネル・ディスプレイ、LED、ソーラー・パネル等のアプリケーションにおいて経費の削減に貢献する製品となっています。

STPiXA4506 (Photo: Business Wire)

エドワーズのTMP製品マーケティング・マネジャーを務める吉野慎一は、次のように述べています。「新しいSTP-iXA4506ターボポンプは、排気性能が強化された一体型のソリューションです。当社の最新ローター設計と、定評のある信頼性の高いiXAシリーズの一体型コントローラを組み合わせ、排気性能を最大化していますので、特にソーラー・パネルとフラットパネルの大流量プロセスで必要となるポンプの数を最小限に抑えることができます。コントロールユニットが完全に統合されたことで、ケーブルおよび個別のコントローラ用ラックの必要性とコストがなくなり、さまざまな用途に迅速かつ容易に導入できる小型パッケージとなりました。エドワーズが提供するすべての磁気浮上ターボポンプと同様に、メカニカルベアリングを使用しないため、ベアリング交換のための定期メンテナンスのコストは不要となります。」

STP-iXA4506は、重質・軽質の両方のガスを効率的に排気する能力に加えて、最大排気速度（4300 L/s N2）と許容流量性能（最大4300 sccm N2）を生かし、半導体エッチング、LCDエッチング、ガラスコーティング、ソーラーPVDとコーティングPVDなど、さまざまな大容量、大流量の用途にて理想的な選択肢となります。高度に統合された設計には完全に密封された電子モジュールが含まれ、最も要求の厳しい工場環境でも堅牢で信頼性の高い動作が可能です。必要に応じて、プロセスの副生成物である堆積物や微粒子の蓄積を減らすために、ポンプ内を高温に保つ温度コントロールシステムを追加することも可能です。

*TMS: Temperature Management System

エドワーズについて

エドワーズは、高度な真空製品、排ガス処理システム、関連付加価値サービスの大手開発メーカーです。これらの製品とサービスは、半導体、フラットパネル・ディスプレイ、LED、太陽電池の製造プロセスに欠かせないものであり、粉末、ガラス、その他のコーティング用途、鉄鋼その他の冶金、製薬や化学の用途などの多様性を増す工業プロセスで使用され、科学機器にもさまざまな研究開発用途にも利用されています。

エドワーズは、世界約20カ国に3200人以上の社員と500人の臨時職員を擁し、ハイテク真空・排気管理装置の設計、製造、サポートに従事しています。

www.edwardsvacuum.com.

写真とマルチメディア・ギャラリーはこちらをご覧ください：http://www.businesswire.com/multimedia/home/20140206005936/ja/

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記事提供：ビジネスワイヤ