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産業用カメラレンズ「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売

株式会社ニコン

微細化と高集積化が進む半導体パッケージ基板や電子部品の外観検査に最適


[画像1]https://digitalpr.jp/simg/2206/102278/250_250_2025011511363367871f31cf816.png


「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」

株式会社ニコンは、産業用カメラレンズ「Rayfact(レイファクト) RF3-6x可変倍率レンズ」と「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」を発売します。「Rayfact」のRFシリーズは、半導体ウェハやフラットパネルディスプレイ(FPD)基板の微細パターン検査に適しており、高画素数のラインセンサーカメラ※1や大型エリアセンサーカメラ※2に対応した産業用カメラレンズです。
今回発売する「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ」、「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」は、次世代半導体パッケージやマイクロLEDパネルの微細パターンなど、高精度な外観検査向けに設計されています。従来製品に比べ、分解能と明るさが向上しており、微小な欠陥の検出に高いパフォーマンスを発揮します。さらに、「Rayfact RF3-6x可変倍率レンズ プリズムタイプ」は、さまざまな検査用途や使用環境を想定し、落射照明に最適化した光学系を採用しています。

なお、本製品は、「第39回 ネプコン ジャパン」(期間:2025年1月22日~24日、場所:東京ビッグサイト)にて出展します。

※1 光を受ける感光部が1列(リニア)に配置されたセンサーを備え、検査対象全体を走査して撮影する検査用カメラ。
※2 光を受ける感光部が面(エリア)となっているセンサーを備え、検査対象全体を分割して撮影する検査用カメラ。

主な特長
・1本のレンズで3倍から6倍まで倍率範囲の変更が可能
・使用倍率全域において少ない性能差を確保
・イメージサークルΦ82mm、高解像度大型ラインセンサー※カメラの性能を最大限に引き出す光学設計
・F1.8で明るく鮮明な撮影が可能
・物体側へのプリズム配置を想定した光学最適化タイプを準備(同軸落射:厚み30mm)
・絞り・フローティング機構を外部駆動にて操作できるよう、絞りリング・フローティングリングにギアを搭載

※大型ラインセンサー:3.5μ×23K / 5μ×16K対応


記事提供:Digital PR Platform

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