半導体用排ガス処理装置市場調査レポート：成長要因と投資機会分析2025
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半導体産業では、マイクロチップの製造などの工程において、有毒性、引火性、さらには人や環境に有害なガスが使用されている。これらのガスは、各国の法律に基づき、除害処理を施す必要がある。すなわち、それぞれの閾値（TLV：許容濃度）を下回るレベルまで削減されなければならない。ガスの種類によっては、熱処理方式、水処理方式、あるいはその両方を組み合わせた技術が求められる。こうした処理の結果、排気ガスは自然環境に悪影響を及ぼすことなく大気中に放出され、より環境に優しい世界の実現に貢献することができる。
成長が止まらない―排ガス処理装置が支える次世代半導体産業
半導体製造工程では、多くの化学薬品やガスが使用され、プロセス中には有害な排ガスが発生する。この排ガスを安全に処理するための装置が、いま業界内外で注目を集めている。とりわけ先端ノードの微細化や3D構造化の進展により、使用される薬品の種類と量が多様化し、排ガス処理の複雑性が飛躍的に高まっている。これにより、単なる環境対策設備ではなく、プロセス全体の安定性を支える中核的な役割を果たす技術へと進化している。
さらに、各国で強化される環境規制やクリーンルーム管理基準の高度化も、排ガス処理装置の性能向上を後押ししている。今後は、省エネルギー性や薬品リサイクル機能、装置の自動制御能力など、総合的な環境インテリジェンスが求められる。技術革新のペースと比例して、この分野の需要は中長期的に安定して伸びていく見通しである。
半導体製造の深層を支える「見えない主役」
一見地味に思える排ガス処理装置であるが、製造歩留まりやクリーンルームの運用効率に直結する要素として、半導体工場では欠かせないインフラである。特に、ドライエッチングやCVD、アッシングなどの工程では、可燃性や毒性を有するガスの発生が避けられず、装置の処理性能が製品品質や工場稼働率に直結する。
装置自体も、熱分解、燃焼、湿式洗浄、プラズマ処理など、多様な方式が併用される複合型が主流となりつつあり、装置設計においては顧客プロセスとの最適整合が重視されている。また、装置のコンパクト化やモジュール設計の進展により、導入の柔軟性も向上している。このような多機能化・高性能化の流れに対応できるプレイヤーこそが、今後の業界競争においてリードを取る存在となる。
市場変化の波に乗れるか―グローバル化とローカライズの両立
世界的な半導体生産能力の分散化に伴い、排ガス処理装置市場も急速にグローバル展開が求められる時代に突入している。各地域の環境基準やエネルギー事情、製造工程の差異に応じて、装置に求められる仕様も大きく異なる。ここに対応するためには、単なる輸出ビジネスにとどまらず、現地製造やサービス体制の構築が不可欠となる。
一方で、ローカル市場に根差したカスタマイズ対応や、地域ごとの技術パートナーとの協業も、今後の差別化要素として重要性を増している。装置の信頼性やアフターサービス体制が投資判断において大きなウェイトを占めるため、販売後のサポート力も企業の評価指標となる。変化のスピードが速い中、柔軟な対応力と地域適応力を兼ね備えた企業こそが、次なる勝者となるだろう。
LP Information調査チームの最新レポートである「グローバル半導体用排ガス処理装置市場の成長2025-2031」（
https://www.lpinformation.jp/reports/113456/exhaust-abatement-systems-for-semiconductor）によると、2025年から2031年の予測期間中のCAGRが9.8%で、2031年までにグローバル半導体用排ガス処理装置市場規模は21.3億米ドルに達すると予測されている。
図. 半導体用排ガス処理装置世界総市場規模
図. 世界の半導体用排ガス処理装置市場におけるトップ11企業のランキングと市場シェア（2024年の調査データに基づく；最新のデータは、当社の最新調査データに基づいている）
LP Informationのトップ企業研究センターによると、半導体用排ガス処理装置の世界的な主要製造業者には、Ebara、Atlas Copco （Edwards and CSK brands）、GST （Global Standard Technology）、Busch Group、DAS Environmental Expert、CS Clean Solutions、Beijing Jingyi Automation Equipment、Ecosys Abatement、Highvac、Resonac （formerly Showa Denko）などが含まれている。2024年、世界のトップ10企業は売上の観点から約84.0%の市場シェアを持っていた。
成長戦略の鍵は「排ガス処理の高度化」にあり
今後の企業成長において最も鍵となるのは、排ガス処理技術の高度化と統合制御技術の確立である。特にAI・IoT技術の活用により、排ガス成分のリアルタイム監視や装置の予知保全、さらにはエネルギー使用量の最適化が可能となる。こうしたスマートファクトリー対応のソリューション提供は、単なる装置提供企業から“工程最適化のパートナー”への転換を意味する。
この分野において、排ガス処理装置はもはや単機能装置ではなく、データとプロセス制御を担うスマートシステムとして進化している。今後、装置の納入先は製造部門だけでなく、ESG推進や環境報告を重視する経営層へと広がっていく可能性も高く、マーケティングの視点においても新たなチャネル開拓が必要とされるだろう。
「脱炭素」と「安全性」―社会課題と企業価値の交差点
世界中で加速する脱炭素の流れと、化学物質によるリスク回避への関心の高まりが、排ガス処理装置産業に新たな役割を与えている。単なる法令遵守ではなく、「環境価値の創出」が企業の持続的成長に直結する時代となった今、この装置が担う役割も単なるプロセス末端の装置から「企業の顔」へと変貌しつつある。
特に、装置運用によって削減される温室効果ガス量や処理効率の向上は、企業の環境報告書やESGスコアにおいて重要な指標となる。これにより、排ガス処理装置の導入は“コスト”ではなく、“企業価値向上への投資”と見なされるようになりつつある。この認識の変化こそが、企業の新たな収益機会を創出する原動力である。
静かなる競争が加熱する―革新を続ける企業が勝ち残る
排ガス処理装置の業界は、表面上の派手さはないものの、技術革新とニーズ多様化が複雑に絡み合う、知見と柔軟性が試されるフィールドである。今後、競争優位を確立するためには、単なる装置性能だけではなく、工程適合性、サステナビリティ対応、そして長期的な信頼構築力が求められる。
特に、プロセスごとのガス特性や運用条件に対する深い理解と、それを具現化するエンジニアリング能力が企業の生命線となる。また、定期保守やトラブル時の対応スピードなど、装置稼働後のサービス体制も重視されるようになっており、トータルソリューション提供企業への進化が今後の鍵となる。静かなる競争の中で勝ち残るのは、変化を読み取り、挑戦をやめない企業に他ならない。
レポート概要
タイプ別セグメント：
Combustion-wash Type
Dry Type
Catalytic Type
Wet Type
Plasma-wet Type
Others
用途別セグメント：
Plasma Etching
CVD and ALD
EPI
Ion Implantation
Others
会社概要
LP Informationは、専門的な市場調査レポートの出版社です。高品質の市場調査レポートを提供することで、意思決定者が十分な情報を得た上で意思決定を行い、戦略的な行動を取ることを支援し、新製品市場の開拓という研究成果を達成することに注力しています。何百もの技術を網羅する膨大なレポートデータベースにより、産業市場調査、産業チェーン分析、市場規模分析、業界動向調査、政策分析、技術調査など、さまざまな調査業務のご依頼に対応可能です。
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