ボールウェーブが開発した世界初の特殊ガス供給システム向けオンライン微量水分計が台湾の最先端半導体製造企業によって認定されました
ボールウェーブ株式会社
ボールウェーブは最先端半導体製造企業の要望に応えてオンライン微量水分計(FT-450WT)を開発し、AccuDEVICE/Tronic Purityと協力して2024年10月から台湾の顧客工場において検証を受けていましたが、この度世界初の特殊ガス供給システム向けオンライン微量水分計として認定されました。
ボールウェーブの社長、赤尾慎吾は「ボールウェーブの卓越したケミカルセンシング技術が世界の先端半導体製造における高い品質目標達成に貢献することは、東北大学発スタートアップとしてこの上ない喜びです」と述べています。
FT-450WT：超微量水分計「FalconTrace」は、ボールSAWセンサを用いて、工業用ガスや天然ガスにごく微量含まれる水分子を定量的に測定する装置です。応答速度が極めて早く、水分量の変化をリアルタイムでモニターでき、水分量とバックグランドガス組成分析の2項目測定も可能。気体中の水分濃度を1ppbv（10億分の１）レベルまで正確に測定することができます。FT-450WTは高速応答はそのままに装置組み込みを重視した上位機種でセンサーユニットと本体を分離することでレイアウトの自由度が向上しています。
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AccuDEVICE/Tronic Purity：寶璣系統股份有限公司（AccuDEVICE Co., Limited）/芯動能設備公司(Tronic Purity, Inc)は台湾の新竹市に本社を置く半導体製造関連装置の技術商社。
ボールウェーブ：ボールウェーブ株式会社は、東北大学発技術シーズであるボールSAW（弾性表面波）センサを用いて、微量水分や多種類のガスを高速・高感度にセンシングすることで、安全・安心・クリーンで持続可能な社会の実現を目指す大学発ベンチャー企業です。水晶球が持つ高温・高圧耐性、高耐食性に加え、従来技術と比較して約100倍の高感度と高速応答性を備えるボールSAWセンサを搭載する微量水分計、ガスクロマトグラフなどの開発・製造・販売を行っています。
■ お問い合わせ先
ボールウェーブ株式会社 経営戦略本部 塚原祐輔
tsukahara@ballwave.jp
電話番号: 03- 5979-2357
https://www.ballwave.jp/プレスリリース提供：PR TIMES
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