「LN2不要 ー 24 時間安定した発光解析を実現」先端半導体の故障解析の稼働率や効率を向上させる発光解析用カメラ
浜松ホトニクス株式会社
生成AI用などの先端ロジックデバイスや高密度メモリデバイスの向け解析用カメラ「Solid Cold(R) Emmi-X カメラ」を開発【7月7日より受注開始】
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Solid Cold Emmi-X カメラ
浜松ホトニクス株式会社は、半導体故障解析装置向け発光解析用カメラ「Solid Cold Emmi-X カメラ」を発売します。本製品はSolid Cold冷却 (リニア冷却方式)を採用しており、当社倒立型エミッション顕微鏡に搭載することで、LN2 (液体窒素)冷却システムと比較して、より高い安定性と優れたメンテナンス性を実現します。また、広視野・高S/Nセンサに加え、高速波長切り替え機構との組み合わせにより、微弱発光を高感度に検出できます。先端ロジックデバイスや高密度メモリデバイスの解析において、高い稼働率と効率的な故障解析を実現します。
本製品は、7月7日 (火)から国内外の半導体メーカーや半導体製造装置メーカーを対象に受注を開始します。7月13日 (月)から16日 (木)にシンガポールで開催されるIPFA2026にて、本製品をご紹介します。ご来場の方はぜひブース説明員にお問い合わせください。
※Solid Coldは浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。
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＜特長＞
高い安定性を実現する冷却機構と優れたメンテナンス性・MTTF (平均故障時間) 90 000時間の高信頼設計
・Solid Cold冷却により非接触かつ24時間連続駆動
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Solid Cold冷却の構造イメージ
広視野・高S/Nによる微弱発光検出
・1k × 1kセンサでの広視野観察
・特許出願技術によるノイズ低減
高速波長切り替えと高精度位置制御
・わずか5秒で波長切り替えが可能
・1軸フィルタかつギアレス構造により高い位置精度を実現
＜測定例＞
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Solid Cold Emmi-X カメラを使って撮像した微弱光
【測定条件】
プロセス: 7 nmロジック
回路: リング発振器
レンズ: 20×、NA=0.6
露光時間: 60秒
電源電圧 (Vdd): 400 mV
＜搭載可能な当社製品＞
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Dual PHEMOS(R)-X エミッション顕微鏡
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iPHEMOS-MPX 倒立型エミッション顕微鏡
※PHEMOSは浜松ホトニクス株式会社の登録商標です。
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＜販売情報＞・販売開始：2026年7月7日 (火)
・価格（税抜）：1式 1.3億円
・販売目標台数：1年目 10式、3年目 12式、5年目 15式
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Solid Cold Emmi-X カメラ
浜松ホトニクス株式会社
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