超音波洗浄機メーカーのカイジョー、半導体向け接液洗浄方式の新型超音波洗浄機『QUAVA mini Mega Puck』を新発売
株式会社カイジョー
～業界最高水準の3MHz高周波対応、石英・サファイアなど多様な薬液に合わせた振動板をラインナップ～
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株式会社カイジョー（東京都羽村市）は、半導体製造工程におけるウエハなどの精密洗浄やレジスト剥離、エッチング後の残渣除去用に新開発の「QUAVA mini Mega Puck（クオーバミニメガパック）」の発売を開始します。本製品は、カイジョー独自の接液洗浄方式により、超音波を印加した液膜を形成して微細な汚れを除去する新型の超音波洗浄システムです。 高周波領域（3MHz）の超音波により 、最先端半導体の「超・高清浄度洗浄」と回路を傷つけない「ダメージレス」の両立を実現しました。
開発の背景
近年、半導体のさらなる高性能化・微細化が急速に進んでいます。これに伴い、製造工程におけるわずかな微粒子の付着や、レジスト剥離・エッチング後の微小な残渣が回路のショートや歩留まり低下を引き起こす致命的な要因となっており、従来以上に高次元な「高清浄度洗浄」が強く求められています。
しかし、微細化した回路パターンは非常に繊細で、従来の強力な超音波洗浄では回路そのものを破壊（パターン倒れなど）してしまうリスクがありました。
この「微細な汚れを完全に除去する高い洗浄力」と「極微細な回路を傷つけないダメージレス」という相反する課題をクリアするため、カイジョーは長年培った超音波技術を結集し、本製品を開発・発売するに至りました。
製品特長
この超音波洗浄機は、カイジョー独自の接液洗浄方式により、超音波を印加した液膜を形成して微細な汚れを除去する新型の超音波洗浄システムです。
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接液方式の振動子構造
高周波領域の超音波洗浄では、エネルギーを安定かつ効率的に伝達するために振動子と被洗浄物の設置距離を近づける必要がありますが、距離が適正でないと超音波エネルギーが減衰してしまう課題がありました。そこで「QUAVA mini Mega
Puck」では、発振器に「警告信号機能（ギャップインジケータ機能）」を搭載。振動子と被洗浄物の最適な設置距離を保ち、安定した超音波を伝播させることが可能となりました。
また、さまざまな薬液に対応できるよう、石英、ステンレス、サファイヤ製の振動板をラインナップ。さらに振動子冷却機構を搭載することで、周波数の安定化と長時間の連続運転を実現し、振動子の長寿命化にも貢献しています。
■ 洗浄方式の比較
半導体製造工程で用いられる主な3つの洗浄方式の特徴は以下の通りです。
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各洗浄方式の比較 (左からバッチ方式、シャワー方式、接液方式) ※上図はイメージです。
[表1:
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■ おすすめの業種と効果を発揮する主なワーク（対象物）
本製品は、特に高いクリーン度とダメージレスが要求される以下の業種・用途に最適です。
推奨される業種：
・前工程を中心とする半導体デバイスメーカー
・半導体製造装置メーカー
・電子部品・光学素子メーカー、シリコンウエハ製造メーカー
効果を発揮する主なワーク・工程：
・先端半導体ウエハ（シリコンウエハ、SiC、GaNなど）： ナノからミクロンオーダーの幅広いパーティクル除去と、パターン倒れが懸念されるデリケートなウエハの精密洗浄を両立。
・レジスト剥離・エッチング後工程： 超音波による剥離やエッチングの促進と、微小な有機・無機残渣の完全除去。
・フォトマスク・MEMS・各種光学基板： 傷が許されない超精密フラットワークの異物除去。
■ 製品仕様
[表2:
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950kHz
[表3:
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3MHz
[表4:
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950kHz / 3MHz (Dual)
[表5:
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会社概要
カイジョーは、長年培った超音波技術をコアに、半導体製造装置や超音波洗浄機器の開発・製造・販売を行っています。お客様のご要望に応じた投込振動子、洗浄槽、振動板のカスタマイズ設計・製造にも柔軟に対応しております。
当社の前身である海上電機は、戦時中の音響測探技術を平和産業へ転換し、戦後復興へ貢献したいという想いから誕生しました。そのルーツである音測・魚探技術を応用し、1958（昭和33）年に発売した超音波洗浄機1号機「ソノクリーナー」は大きな反響を呼びました。 以来、当社は単に超音波を照射するだけでなく、社内での徹底した部品洗浄実験と厳格な評価に基づく設計・製造にこだわり続けています。最先端半導体業界において約70年の歴史を持つパイオニアとして、確かな機器だけを市場に送り出し、これからもお客様の信頼に応え続けてまいります。
本件に対するお問い合わせ先
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株式会社カイジョー 超音波機器事業部TEL: 042-555-6456
FAX: 042-555-0291
〒205-8607 東京都羽村市栄町3-1-5
URL:
https://www.kaijo.co.jp
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