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ギガフォトン 露光装置用レーザーのアップグレードビジネスを受注

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2015年10月01日

最新技術で既存装置の継続的価値向上をサポート

栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、既設の量産露光装置ラインに接続されている旧型のエキシマレーザー光源を最新型機種に置き換える、新しいレーザーアップグレードビジネスを受注し、納入したことを発表しました。置き換えの対象となるレーザーはメーカーを問わず、KrFレーザーの初期モデルからArFの液浸露光装置用レーザーまでをカバーしており、複数の地域および顧客に納入されました。

IoTビジネスの興隆に伴い、通信用チップ・センサやMEMSを生産する200mm工場の稼働率が世界的に高まる中、既存の装置のアップグレードにより生産性の向上を目指す動きが強まっています。また、旧型レーザーは運転コストやメンテナンスのためのダウンタイム頻度が高く、これらを削減することも課題となっていました。

このたびギガフォトンが受注・納入したビジネスは、このようなお客様のニーズと課題を解決するもので、旧型レーザーと同じ波長の最新型レーザーをギガフォトンが出荷し、旧型レーザーと入れ替えるものです。このレーザーアップグレードにより、既存の露光装置の生産性向上、および運転コストやダウンタイムの大幅削減が見込まれます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「量産DUVリソグラフィプロセスが登場して20年がたち、今日、世界の量産工場において、4000台を超えるレーザーが稼働しております。これらのレーザーのアップグレードに対するお客様の期待が高まっていることから、将来的にはこのようなビジネスが、新規レーザーと同等の規模まで市場が広がることを期待しています。このたびの受注によって、我々が提供する最新技術が、お客様の装置の性能を改善して量産工場のアウトプットを高めると同時に、運転コストを大幅に削減できることは、我々のHVMサポートのミッションに沿った重要な成果と考えています。今後も引き続き世界の量産工場の継続的価値向上に貢献していきます。」

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを目指しています。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

businesswire.comでソースバージョンを見る：http://www.businesswire.com/news/home/20150930005847/ja/

連絡先

報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
経営企画部　松井章記
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ