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ギガフォトン、G450Cに量産向け450 mmリソグラフィプロセスの開発とデモに使用する光源を提供

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2014年02月17日

量産450 mmリソグラフィプロセスに対するギガフォトンの最先端高出力レーザーGT64Aの有効性を実証する重要な試金石

ニューヨーク州アルバニー & 栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁、www.gigaphoton.com）は、本日同社の主要製品である高出力ArF液浸レーザー「GT64A」が、ニューヨーク州アルバニーのニューヨーク州立大学（SUNY）ナノスケール理工学部（CNSE）に本部を置く、グローバル450 mmコンソーシアム（G450C）にて、初の450 mm ArF液浸リソグラフィスキャナー光源として使用されることになったと発表しました。このレーザーはCNSE内のG450Cの施設での技術デモンストレーションと同様に、G450Cの施設内外での開発及び試験に使用されることになります。GT64AのCNSEへの搬入は2015年4月に予定されています。

G450Cは、450 mmウェーハサイズへの移行を容易にするために2011年9月にニューヨーク州のアンドリュー・M・クオモ知事によって発表された官民共同の協力団体であり、インテル、IBM、グローバルファウンドリーズ、サムスン、およびTSMCがCNSEのメンバーとなっています。新しい450 mm用クリーンルームはNanoFab Xtension (NFX)拡張施設内のCNSEのアルバニーナノテク複合棟に設置されています。

GT64Aは、非常に高いレーザー発振効率レベルを有し、450 mmウェーハの製造用途におけるマルチパターニングのために最大120 Wの出力を達成することができます。また光エネルギー出力は顧客のプロセスに基づいて自動的に最適なレベルに調整でき、大幅に向上した重ね合わせ精度、クリティカルディメンション制御、およびラインエッジラフネスの低減と組み合わせて、非常に安定したエネルギー、スペクトル幅、波長、ビーム形状を実現します。これらはすべて、マルチパターニング ・リソグラフィにとって非常に重要な要素であり、GT64Aはそれらを全て兼ね備えています。さらに、GT64Aは製品コンセプトとして環境に優しいことに重きを置いており、電気、ガス、冷却（設備）リソースの消費およびコストを最小限にしています。

CNSE製造イノベーション部門の部長で、G450CのゼネラルマネージャーであるPaul Farrar Jr.氏は、「アンドリュー・クオモ知事のリーダーシップとビジョンのもと、ニューヨーク州は、450 mmウェーハ技術にとって重要な産業進化のハブとして確固たる地位を確立しています。我々は、ギガフォトン社と緊密に連携し、同社の技術と能力を活かして450 mm技術への重要な移行を可能にする一翼を担うことを楽しみにしています」とコメントしています。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏は、次の用に述べています。「G450Cによって進められる重要な革新的事業に参加する機会を得て、我々は非常に興奮しています。これは、健全な大量生産環境とロードマップを維持するために必要な、製品、サービス、及び技術ソリューションを長年にわたって提供してきたギガフォトンが、新たに成し遂げた重要な成果です。私達は今後もEcoPhoton™プログラムによる環境への影響を最小限にするための技術と、それを含む先進リソグラフィ技術の研究開発への投資を続けていく所存です」。

G450Cについて

G450Cは、ニューヨーク州(CNSE)、インテル、TSMC、サムスン、IBM、グローバルファウンドリーズから成る官民パートナーシッププログラムで、450 mmウェーハへの協調移行を可能にするために費用効果の高い試験ウェーハの製造インフラ、機器試作品、大量のツールを開発しています。このプログラムはCNSEが持っている能力を活用して包括的産業エコシステムの共同開発活動および支援を行います。さらなる情報については、www.g450c.orgをご覧ください。

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体チップメーカーによって使用されるユーザーフレンドリな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術LPP EUVソリューションは、費用効果と生産性に優れたリソグラフィ光源の大量生産において先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までの事業のすべての局面においてエンドユーザーのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になるよう努力しています。詳細は、www.gigaphoton.comをご覧ください。

連絡先

報道関係者向けお問い合わせ先：
ギガフォトン株式会社
経営企画部
寺嶋　克知
TEL: 0285-28-8410
Eメール: katsutomo_terashima@gigaphoton.com
または
営業部
久永　 直人
TEL: 0285-28-8415
Eメール: naoto_hisanaga@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ