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ギガフォトン、EUV光源で平均60W、24時間連続稼働を達成

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2015年10月02日

EUVリソグラフィ装置用のLPP光源　量産適用に向けて大きく進捗

栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプ機において、量産工場での使用を模擬した運転パターンにて平均60W、24時間の連続稼働を達成したと本日発表しました。

この成果は、これまでギガフォトンが開発を続けてきた、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術を、より進化させたことによって達成されました。ギガフォトンが今回達成した、量産工場での使用を模擬した運転パターンでの平均60W、24時間の連続稼働は、量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味しています。今後ギガフォトンでは、2015年中に高出力検証機を稼働させ、メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続運転を目指し、更なる研究開発に取り組んでいきます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOである都丸仁氏は、次のようにコメントしています。「今回の成果は、半導体量産工場が待望する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なLPP光源の完成へと確実に近付いていることを示しています。ギガフォトンの高度な技術力と量産に向けた開発努力が、量産用EUVリソグラフィスキャナーの開発を加速させ、次世代露光技術としてのEUVスキャナーの導入時期を一層早めると確信しております」。

本件を含むギガフォトンの最新のEUV光源開発状況については、10月5日から7日までオランダで開催されるEUVリソグラフィに関する国際シンポジウム（2015 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography）で発表予定です。なお、同社は本シンポジウムを協賛しております。

*本件は、国立研究開発法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）」の助成プログラムの成果を活用しています。

ギガフォトンについて

2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーによって使用されるユーザーフレンドリーな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術であるLPP EUVソリューションは、費用対効果と生産性に優れた量産向けEUVスキャナーの実現に向けて先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までのあらゆる事業分野においてエンドユーザーのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No. 1企業を目指します。詳細は、http://www.gigaphoton.comをご覧ください。

businesswire.comでソースバージョンを見る：http://www.businesswire.com/news/home/20151001007048/ja/

連絡先

報道関係者向けの連絡窓口
ギガフォトン株式会社
経営企画部　松井章記
TEL：0285-37-6931
Eメール：web_info@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ