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LFoundryとScannanoが破壊的技術を採用したMEMS圧力センサーを提供へ

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2015年04月08日

フィンランド・トゥルク & 伊アヴェッツァーノ

（ビジネスワイヤ） -- ScannanoとLFoundryは本日、Scannanoの破壊的ナノ技術を多様な新製品アプリケーションに適用するための戦略的な長期提携関係を発表しました。これら新製品の皮きりとなっていくのが、MEMSベースの圧力センサーポートフォリオです。

Scannanoのディープ真空ギャップ（DVG）技術とマイクロメンブレンナノ技術を採用した新圧力センサーは、かつてないレベルの高精度と微小化に加え、低消費電力化と多機能を実現します。その結果、新デバイスは標準的CMOSプロセスを採用して、同じチップ上に「特定用途向け集積回路（ASIC）」と共に製造できます。

DVGプロセスは約1nmと非常に高い精度で微小な真空ギャップを生み出すために利用されます。こうしたギャップをセンシングメンブレンと組み合わせることで、メンブレンにかけられた圧力を測定します。数ナノメートルのレベルで変形が生じるため、高精度はナノ次元のシングルデバイスによって実現できます。さらに、低消費電力であるため、同じチップ上にその他のデバイスと共に搭載可能です。

新圧力センサーのアプリケーションは広範で、多様な車載／産業製品における100種以上のデバイスが対象となります。シングルチップ上でのモノリシック集積化により、標準的CMOSプロセスを採用して、最先端の設計が実現します。車載アプリケーションには、衝突検知やタイヤ圧検知などの安全性システム、マニホールド空気圧やターボ空気圧を検知するための駆動系デバイスなどがあります。産業アプリケーションには、ガス流量計、液位計、高度補償システム、測候システムなどがあります。

デバイス設計業務は既に着手しており、製造はこれからLFoundryのイタリア施設（ローマ近郊のアヴェッツァーノ）で開始します。

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Scannanoについて

Scannanoはナノ技術の研究開発を手掛ける非公開企業で、フィンランドのトゥルクを拠点としています。

LFoundry Srlについて

LFoundry Srlは先進の製造技術を備えた一流の特殊ファウンドリーとして、特殊な機能とノウハウを提供しています。対象となる分野には、CMOSイメージセンサー（表面照射型および裏面照射型）、統合型タッチ・ディスプレー・コントローラー、マイクロコントローラー（セキュアMCU、ワイヤレス／高電力効率MCU）、スマート電力（PMIC、RF／オーディオ、インテグレーテッド・ディスクリート）、CMOS統合MEMSがあります。最近、経営トップが交代し、本社をイタリアのアヴェッツァーノに、また販売／マーケティング／研究開発部門をドイツのランツフート支社に移転させています。LFoundry Srlは最高度のアナログ製造サービスをご利用いただくことに傾注しており、月産4万枚超のウエハー製造能力を持ち、量産90nm／カッパー製造技術を含む革新的な技術拡張に取り組み、柔軟性と顧客パートナーシップに大きな力点を置いています。

本記者発表文の公式バージョンはオリジナル言語版です。翻訳言語版は、読者の便宜を図る目的で提供されたものであり、法的効力を持ちません。翻訳言語版を資料としてご利用になる際には、法的効力を有する唯一のバージョンであるオリジナル言語版と照らし合わせて頂くようお願い致します。

Photos/Multimedia Gallery Available: http://www.businesswire.com/multimedia/home/20150408005927/ja/

連絡先

Scannano
Dr. Andrei Pavlov, +358-50-4210191
CEO
andrei.pavlov@scannano.com
または
LFoundry
Gianluca Togna, +39-08634-23271
gianluca.togna@lfoundry.com

記事提供：ビジネスワイヤ