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ギガフォトン、オープンプラットフォーム対応最新モデルArFレーザー「GT64A4」出荷

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2015年02月18日

ユーザー等との共同開発により、グリーン技術の更なる進化へ

栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、同社の最新モデルArFエキシマレーザー「GT64A4」をこの2月出荷する、と発表しました。

GT64A4の最大の特徴はオープンイノベーション活動を可能にするため、オープンプラットフォームに対応できるよう設計されているということです。そのためギガフォトンがユーザーやその他のパートナーと協力して、運転コストや環境負荷を低減する等の技術開発ができるように、レーザーのデータ共有が容易になっています。その一例として、同レーザーのガス消費量をさらに半減する技術の共同開発プロジェクトが、現在すでにスタートしています。そしてGT64A4は、新たに開発された技術を搭載・接続するための拡張性を備えていますので、レーザー導入後もアップグレードしながら長期間にわたって使用することができます。

またGT64A4は、ギガフォトンのEcoPhotonプログラムに沿って開発された、ガスや電気の消費量削減等、環境やコストに貢献する技術「eTGM」や「eGRYCOS」を標準搭載し、年間35%のコスト削減ができます。（同社従来最新機種比較）さらに、新開発のスペクトル制御技術を搭載、+/-5fm（フェムトメートル）という高いレベルの安定性を提供し、ウェハ上のCD均一性の向上にも大きく貢献することができます。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「当社の強みであるグリーンイノベーション技術を結集させたGT64A4は、この技術の進化をさらに加速させるべく、オープンイノベーションプラットフォームとしてデザインされています。GT64A4 の出荷は、当社にとり大きなマイルストーンとなりました。今後もこのレーザーを起点としてお客様やパートナーと協力し、新たなイノベーションを 提供し続けることで半導体工場の効率化、グリーン化に貢献していく所存です。」

EcoPhoton™プログラムについてEcoPhoton™プログラムは、環境に優しくユーザーフレンドリーなリソグラフィ光源を提供するために、ギガフォトンが2003年以来策定・実現しているロードマップです。このプログラムでは、レーザーの稼働コスト（Cost of Ownership = CoO）を、消耗部品により発生するコスト（Cost of Consumable = CoC）、ダウンタイムにより発生するコスト（Cost of Downtime=CoD）、環境負荷のコスト（Cost of Environment = CoE）の3種類に分類し、それぞれのコスト要因を詳細に分析、新技術の投入により継続的なコスト低減を目指します。

*本件は、独立行政法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）」の助成プログラムの成果を活用しています

ギガフォトンについて2000年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーのための、ユーザーフレンドリーで高性能なDUVレーザー光源を開発・供給してきました。ギガフォトンは、生産性と費用対効果が重要な大量生産(HVM)において必要とされる、優れたリソグラフィ光源を供給する世界No.1企業になることを目指しています。常にエンドユーザのニーズに焦点をあて、研究開発から製造まですべての局面において、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートを約束します。詳細については、www.gigaphoton.comをご覧ください。

連絡先

報道関係者向けの連絡窓口：
ギガフォトン株式会社
寺嶋　克知
経営企画部
TEL: 0285-37-6931
Eメール: web_info@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ