経済総合 – とれまがニュース

ギガフォトン、92 WのEUV光源出力を発光効率4.2％で達成

• ツイート
• 
• 

2014年06月30日

EUVリソグラフィ装置用のLPP光源として量産レベルの出力への大きな一歩を踏み出す

栃木県小山市

（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ（LPP）光源のプロトタイプにおいて、最大出力92 Wを発光効率（CE）4.2%で達成することに成功したと本日発表しました。

今回のEUV発光は、Snターゲット（すずのドロップレット）に対して、固体プリパルスレーザーと炭酸ガス（CO２）レーザーを組み合わせて最適化し照射することによって達成されました。今後、同社では量産対応EUVスキャナーの実現に向けて、2014年末までに150 Wの出力、最終的には250 Wを目指し更なる研究開発に取り組んでいます。

この最大出力92 Wを達成した独自技術によるプロトタイプLPP光源は、20 µmのすず（Sn）ドロップレットを、固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスで照射することでEUVを発光させ、また、高出力な超電導磁石とH2ガスを用いたSnエッチングを組み合わせることで、照射によるSnデブリの発生を抑制しています。また、コレクターミラーの寿命を最大限に延ばすために、超伝導磁石で強力な磁場を発生させ、すずドロップレットの熱膨張から発生する不要なデブリを、すずキャッチャーへ導いて除去します。

ギガフォトン代表取締役社長兼CEOである都丸仁氏は、次のようにコメントしています。「このEUV光源出力92 Wの達成は、市場が要求する高出力、低ランニングコストで安定稼働が可能なLPP光源の実現に向けて、ユニークな技術開発を着実に進めてきた成果です。ギガフォトンの高度な技術力と量産に向けたLPP光源の開発努力が、この量産用EUVリソグラフィスキャナーの開発を加速し、次世代露光技術としてのEUVスキャナー導入の機運を一層高めるものと確信しております」。

*本件は、独立行政法人「新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）」の政府助成プログラムの成果を活用しています。

ギガフォトンについて

２０００年に設立されて以来、ギガフォトンはアジア全体、米国およびヨーロッパ地域の主要半導体メーカーによって使用されるユーザーフレンドリーな、高性能DUVレーザー光源を開発、供給してきました。

ギガフォトンの、特許を取得した革新的技術であるLPP EUVソリューションは、費用対効果と生産性に優れた量産向けEUVスキャナーの実現に向けて先導的役割を果たしています。グローバルなビジネス展望を持って、ギガフォトンは、研究開発から製造までのあらゆる事業分野においてエンドユーザーのニーズに焦点をあて、業界最高の信頼性と世界水準の顧客サポートでリソグラフィ光源を供給する世界No. 1企業になるよう努めております。詳細は、http://www.gigaphoton.comをご覧ください。

連絡先

報道関係者向けの連絡窓口
ギガフォトン株式会社
経営企画部
寺嶋克知
TEL： 0285-37-6931
Eメール： katsutomo_terashima@gigaphoton.com
または
営業部
久永直人
TEL： 0285-28-8415
Eメール： naoto_hisanaga@gigaphoton.com

記事提供：ビジネスワイヤ